Etching Time (s)	Mo:TiO2-650 (Mo-at%)	Mo:TiO2-650 (Ti-at%)	Mo:TiO2-650 (C-at%)	Mo:TiO2-700 (Mo-at%)	Mo:TiO2-700 (Ti-at%)	Mo:TiO2-700(C-at%)	Mo:TiO2-800 (Mo-at%)	Mo:TiO2-800 (Ti-at%)	Mo:TiO2-800(C-at%)		
0	10.58	13.18	16.21	4.89	17.06	13.98	4.35	19.51	13.33		
60	10.75	17.06	5.22	3.32	21.52	6.98	3.03	23.38	4.96		
180	11.22	18.1	5	3.19	23.57	6.41	2.48	25.22	3.43		
420	12.43	19.13	4.07	3.22	25.93	4.36	2.03	27.73	2.35		
											
